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2016-10-19
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外延(epitaxy)
外延是一种晶体生长方法，它是在一定条件下使原子规则地排列在单晶衬底上，形成结构完整，与衬底取向相同，并有一定厚度的单晶层的方法。外延技术既可用于生长与衬底材料相同的单晶层(同质外延)，亦可用于生长与衬底材料不同的单晶层(异质外延)。由于采用的方法不同，外延又可分为固相外延、液相外延、气相外延和分子束外延等。气相外延普遍应用在硅晶体管、硅集成电路和砷化镓微波器件、砷化镓集成电路的制造中;分子束外延在制备超晶格量子阱结构中有重要作用。
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标签：物理
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